自動影像測量儀是一種常用于生產(chǎn)加工、測試檢驗等領(lǐng)域的高精度量具,其原理主要基于光學(xué)成像和數(shù)碼圖像處理技術(shù)。其通過數(shù)控機械系統(tǒng),將待測工件或模具放置在測量臺上,經(jīng)過對焦調(diào)節(jié)后,在顯微鏡中觀察并進(jìn)行三維寬高深測量,從而得到樣品形貌尺寸及其特征參數(shù)。
自動影像測量儀包括自動對焦、取像、收集、處理、計算分析等多個步驟,下面將逐一介紹:
自動對焦:采用的激光自動對焦技術(shù)可以根據(jù)物體不同材質(zhì)的反光率及表面輪廓特點,實現(xiàn)對測量對象全自動快速準(zhǔn)確對焦,大大提高了測量效率。
取像:在完成自動對焦后,會自動拍攝徑向、切線、圓弧等多種角度的圖片,以獲取一定深度的二維圖像信息。
影像收集:會將完整的被測物體表面圖像獲取后,進(jìn)行漏洞填補、自動識別等預(yù)處理,然后將不同角度的圖像進(jìn)行融合并重構(gòu)成三維數(shù)字化模型。
影像處理:通過對數(shù)字化圖像進(jìn)行圖形處理、數(shù)字濾波等整理和清晰化操作,對待測物體內(nèi)部或外部結(jié)構(gòu)的幾何尺寸進(jìn)行提取。
計算分析:完成影像處理后,還需要根據(jù)不同的參數(shù)要求,采用零件配合、線距法等嚴(yán)密有效的量算手段對圖像進(jìn)行信息提取及準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)分析,并把測得的參數(shù)數(shù)據(jù)導(dǎo)入計算機管理系統(tǒng)中實現(xiàn)可視化的數(shù)據(jù)輸出和管理處理。
自動影像測量儀的應(yīng)用范圍主要包括以下幾個方面:
機械制造業(yè):用于精密機械零部件、螺紋、齒輪、模具等工件幾何形狀和尺寸的快速測量與分析。
電子半導(dǎo)體行業(yè):用于集成電路芯片、晶圓及其他微米級電器元件的尺寸和形狀檢測,以及線寬、線距、孔徑等參數(shù)的測量。
生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域:用于組織細(xì)胞、生物樣品、醫(yī)療器械等微小結(jié)構(gòu)的顯微觀察和定量分析,可幫助科研人員研究納米級別的生物學(xué)問題。
材料科學(xué)研究:可用于各類材料的復(fù)雜形狀的三維建模、云點數(shù)據(jù)的重建和渲染展示,提高了各類樣品的檢測效率與精度。
質(zhì)量檢測領(lǐng)域:可適用于汽車、飛機等大型設(shè)備的質(zhì)量控制以及高精度零部件的尺寸測量。