測量型金相顯微鏡產(chǎn)品用途 |
測量型金相顯微鏡是種兼顧影像與目視的高度、率測量儀器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準系統(tǒng),可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu),是集光、機、電、算、影像于體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主,也可作三維輔助測量,廣泛應(yīng)用于電子組件、密模具、塑料、PCB加工方面等工業(yè)領(lǐng)域。 |
產(chǎn)品點 |
● X、Y、Z軸0.5μm分辨率; ● 高度非接觸式光測高度量測模塊; ● Z軸粗調(diào)/微調(diào)旋鈕; ● 同軸表面光/底光測量; ● 內(nèi)建偏光量測光學(xué)模塊; ● 可量測透明材質(zhì)納米級高度差 |
規(guī)格型號 | MTM-1510M | MTM-2010M |
工作行程X、Y、Z軸 | 150*100*120(mm) | 200*100*120(mm) |
金屬臺尺寸 | 210*160(mm) | 260*160(mm) |
玻璃臺尺寸 | 354*228(mm) | 404*228(mm) |
光學(xué)尺分辨率 | 0.5μm |
示值誤差 | X、Y坐標≤(3+L/75)μm (L為測量長度,單位mm) |
影像系統(tǒng) | 彩色1/2"CCD攝像機;640*480像素;結(jié)合測量軟件 |
顯微鏡系統(tǒng) | 目鏡:10倍 |
濾光片:紅,藍,綠,白 |
測量模式:反射,透射,偏光 |
5孔物鏡轉(zhuǎn)換器 |
物鏡放大倍率誤差 | 包括畸變在內(nèi)的放大率誤差≤0.008% |
總放大倍數(shù) | 50X——500X |
照明系統(tǒng) | 透射照明光源:白光LED,亮度可調(diào) |
同軸照明光源:鹵素?zé)?,亮度可調(diào) |
物鏡 |
倍率 | 5X | 10X | 20X | 50X |
工作距離(mm) | 26.1 | 20.2 | 8.8 | 3.68 |
高度量測模塊(選配件) | 光干涉高度量測模塊(M10-CA),高度量測分辨力0.5μm(選配) |
倍率:10X,工作距離5mm,光學(xué)分辨力2μm |
其它參數(shù) |
外形尺寸(mm) | 590*560*850 |
儀器重量(kg) | 100 | 110 |
電源功耗 | 110V—220V 50/60Hz <60W |